激光共聚焦显微镜原理是由LED光源发出的光束经过一个多孔盘和物镜后，聚焦到样品表面。之后光束经样品表面反射回测量系统。再次通过MPD上的针孔时，反射光将只保留聚焦的光点。光束经分光片反射后在相机上成像。

为什么激光共聚焦显微镜成像质量更好？

1、激光共聚焦显微镜采用了激光扫描技术。与传统显微镜的广谱光源相比，激光扫描技术能够**定位和聚焦在样品的特定区域，从而提高成像的分辨率和准确性。同时，激光扫描技术可以消除样品中的散射和背景信号，从而提高成像的对比度。同时，激光的单色性使得成像更清晰。

2、激光共聚焦显微镜具有较大的光学孔径（显微镜接收到样品发出的光的能力）和高数值孔径物镜（镜头的放大倍数），使成像更清晰细致。

3、激光共聚焦显微镜使用的是探测元件是高灵敏度的光电倍增管，对微弱的荧光信号可以呈现出很高的灵敏度，并且还可以通过缩小激发范围并使用光学切片来消除背景噪声。配备高灵敏度的光电二极管探测器，使得激光共聚焦显微镜能够快速并**地检测光信号，并将其转换为电信号。

与传统的光学观察不同，光电二极管探测器可以实现单个光子的检测，使得成像更加敏感和准确。这种高灵敏度的探测器在低光强条件下也能够获得清晰的图像。

VT6000激光共聚焦显微镜基于针孔点光源的共轭共焦原理，具有纳米级别的纵向分辨能力，配合高速扫描模块，分析软件具有多区域、自动测量功能，能实现快速自动化测量，并提供高度、宽度和角度等一系列轮廓尺寸参数对表面质量进行表征。

VT6000激光共聚焦显微镜依托弱光信号解析算法可以完整重建出近70°陡峭的复杂的结构形状。如：

1.对太阳能电池片微观结构进行三维形貌重建：

2.快速重建出被测晶圆激光镭射槽的三维轮廓并进行多剖面分析，获取截面的槽道深度与宽度信息：

3.对光学膜表面微结构实现快速自动化测量，提供高度、宽度和角度等一系列轮廓尺寸参数对表面质量进行表征：